截至8月28日收盘，光刻机概念下跌1.95%，在概念板块跌幅榜中表现较为靠前。该板块内，C高凯、超纯应材、旭光电子等股票跌幅较大。尽管如此，仍有9只股票上涨，其中赛微电子、富乐德和*ST和科分别上涨了9.01%、6.75%和4.24%。
从资金流向来看，当天光刻机概念板块主力资金净流出达17.49亿元。具体而言，江丰电子净流出最多，达到3.63亿元；赛微电子、中船特气和泰晶科技紧随其后，分别净流出2.38亿元、2.37亿元和2.18亿元。相比之下，炬光科技、腾景科技和富乐德则获得了较多的主力资金流入，分别为2.45亿元、1.68亿元和8443.63万元。股市有风险，投资需谨慎。