截至8月3日收盘，光刻机概念下跌2.67%，在概念板块跌幅榜中名列前茅。板块内，富创精密、江丰电子、珂玛科技等股票跌幅较大，而联合化学、华辰装备、电科数字则表现较好，分别上涨了3.29%、2.51%和2.48%。
从资金面来看，当日光刻机概念板块主力资金净流出16.47亿元。其中，江丰电子、富创精密、中船特气、大族激光等个股的资金净流出额较大，分别为4.91亿元、2.99亿元、1.85亿元和1.50亿元。相比之下，炬光科技、强瑞技术、腾景科技等股票则获得了较多的主力资金流入，分别净流入2.00亿元、4000.94万元和2883.49万元。
股市有风险，投资需谨慎。