半导体产业链大涨，光刻机方向领跑，新莱应材、盈方微、紫光国微、张江高科、福晶科技、江化微涨停。半导体设备ETF（159516）涨近6%，成交额超4400万元。
广发证券表示，国内半导体设备行业成长迅速，国产替代空间广阔。半导体设备是制造半导体芯片的核心工具，直接决定了芯片的生产效率、成本和质量。半导体设备的技术进步直接推动了芯片集成度的提升，从而推动电子产品的性能不断提升。近年来，在日益复杂的外部环境下，半导体设备作为“卡脖子”的关键技术环节，其重要性不断提升。目前，中国是全球主要半导体设备市场之一。未来，随着国内晶圆产能的持续扩张，国内半导体设备行业的市场规模有望不断增长。对于国产半导体设备厂商而言，其驱动力除了行业规模的自然扩张，还包括在国内市场的国产替代。当前半导体设备国产化率持续提升，国产替代驱动的份额提升，将为行业贡献可观的成长速度和空间。
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