原标题:科工力量:凭借一国之力能搞出光刻机吗?
[文/科工力量柳叶刀陈辰]上期节目我们聊了国产芯片,一个很大的难点,就是光刻机。美国一直阻止荷兰设备商ASML对华出口极紫外光刻机,也就是EUV,这种做法就是典型的将商业问题政治化。ASML如果遵守美国禁令,不仅意味着经济损失,也有可能失去全球最大的市场。
光刻机有高端的,也有低端的,像EUV就是高端的,它可以制造7nm以下的芯片。美国的禁令是,高端设备不准卖给中国,极紫外光刻机属于管制范围。《中国制造2025》曾将这种光刻机列为重点突破领域,并计划在2030年实现国产化。
为了不让荷兰将最先进的光刻机卖给中国,白宫可是操碎了心。他们多次向荷兰施压,阻止最先进的光刻机出口中国。2018年5月,中芯国际向ASML订购了一台EUV光刻机,价值1.5亿美元,计划2019年交付。结果被美国盯上了,接下来几个月里,美荷双方连续开了四场会议,讨论直接封杀这笔交易的可能性。当时,美国的出口条例已经修改,外国公司出售给中国商品,如果含有超过25%的美国技术,就必须得到美国政府的允许。
企业都是以盈利为目的,ASML公司本身也想推动这笔交易。2018年,该公司在中国的营收占到销售总额的20%,超过在美国的16%。去年6月,蓬佩奥访问荷兰,要求首相吕特阻止对华出口先进的光刻机。吕特的回应是,虽然荷兰想要与盟国保持政策一致,但“每个国家都必须做出自己的安全决定”。后来,他访问华盛顿,白宫官员向他展示了一份情报,内容是“中国获得光刻机可能带来的后果”。吕特回国后,荷兰政府立刻禁止ASML对华交易。
半导体产业70年历史中,光刻技术的改进,不断推动芯片制程的升级。在集成电路出现之前,电子器件靠手工连接。二战时,美国的航空母舰有35万个电子设备,需要上千万个焊接点,这导致维护工作繁琐,很容易出现设备短路失灵。为了保证复杂的电路稳定工作,贝尔实验室想出了一个办法,将这些的电路集成在指甲盖大小的硅片上,怎么实现呢?受到投影仪和照相机的启发,他们将设计好的电路投射到硅片上,以光为刀,按照硅片上的阴影,雕刻电路。这就是光刻机的原型。贝尔实验室手握很多专利,光刻技术就是其中之一。为了让更多的企业受益,美国政府以反垄断法威胁,逼迫贝尔实验室释放技术,后来的美国半导体巨头,就是这样培养起来的。像GCA、Perkin Elmer等公司,获得光刻技术后,马上推出自己的光刻机产品,占据市场主导地位。
可到了80年代,一切都变了。日本超越美国,成为半导体第一大国。全球前10大半导体公司,日本占了6家,而且前三名都是日本企业。当时,日立、东芝、富士通的产品,成为“高质量”的代名词,良品率远高于英特尔、德州仪器。佳能、尼康研制的光刻机,占据近一半市场份额,IBM、AMD几乎是堵在它们生产线门口,等着产品下线抢购,就跟我们今天急切等待EUV光刻机交货一样。
日本的半导体产品疯狂涌入美国,美国公司的市场份额直线下降,英特尔甚至准备放弃抵抗,宣布破产。白宫一看,照这样下去,整个硅谷都会被日本碾压。开始采取反制措施,一是,对外祭出关税大棒,对日本的半导体征收高额惩罚性关税,限制其出口。二是,对内组建半导体制造技术联盟Sematech,英文名是“ Semiconductor Manufacturing Technology”。该组织由美国14家半导体龙头企业组成,包括英特尔、IBM、美光、惠普、摩托罗拉等。
联盟中的成员都是各家公司最优秀的研发人员,他们在这里的工作,并不是研究具体的半导体技术,而是开发最先进的半导体设备。因为该组织通过前期细致的调研发现,设备是芯片制造的基础。如何改进制造流程、更好的使用设备,相当于现在台积电和中芯国际所做的业务,只有垄断设备制造,才有更强的议价权利。Sematech总体上非常成功,1995年,美国半导体产业全面恢复国际竞争力,特别是半导体设备制造领域,美国的地位至今无人可以撼动。Sematech是产业界发起的,美国政府参与运营和管理,国防部还专门为其设置专项经费,每年1亿美元。